UHV-TPD Workstation 超高真空TPD工作站

SIMS Workstation 二次離子質(zhì)譜工作站

Hiden UHV-TPD工作站是專為超高真空熱脫附研究而設(shè)

Hiden SIMS 工作站，綜合UHV/SIMS 設(shè)備，進(jìn)行高級的表

計的。

面分析。

● 帶有觀測窗和樣品加熱臺的真空室

● 各類型樣品的快速轉(zhuǎn)換

● 帶脈沖離子計數(shù)檢測器的三級過濾四極質(zhì)譜儀

● 靜態(tài)、動態(tài)SIMS

（Hiden 3F/PIC）

● 整體的離子源，用于RGA/SNMS

● 質(zhì)量數(shù)范圍：1～300、510、1000aum

● 表面修飾/光柵研究

● 快速質(zhì)譜數(shù)據(jù)采集：>500數(shù)據(jù)點/秒

● SIMS 表面形態(tài)/成像

● 工作站含有操作軟件，可自動控制樣品溫度

● 表面污染物分析

● TPD常規(guī)分析，包括質(zhì)譜峰的積分和反褶積計算等

● 正、負(fù)離子、中性粒子、自由基的質(zhì)量、能量分析儀

● 樣品可加熱到1000℃

● 讀數(shù)電子槍（選配）用于絕緣體研究時的電荷中和

● 密閉、自動裝樣器

● 快速樣品傳遞，樣品固定，負(fù)載鎖定的操縱器

● 智能操作軟件控制實驗操作

● 4 軸：X,Y,Z,θ UHV 操縱器，以定位樣品

● 加上ESM LabVIEW SIMS成像程序，進(jìn)行SIMS元素成像

● 靜態(tài)SIMS光譜資料庫可用

SPACI-MS 空間分辨質(zhì)譜儀

Compact SIMS小型二次離子質(zhì)譜儀

SPACI-MS是一臺商業(yè)的空間分辨質(zhì)譜儀，可以

完備的二次離子質(zhì)譜和二次中性粒子譜系統(tǒng)，一種簡單而快

進(jìn)行徑向和軸向的物質(zhì)檢測和溫度分布繪圖，具有空

速的工具，用于分析樣品層狀結(jié)構(gòu)、表面污染和雜質(zhì)含量。

間和時間分辨率，可以排除溫度和氣流的干擾。16路進(jìn)氣

靈敏的正離子檢測，在全質(zhì)量數(shù)范圍內(nèi)提供同位素分辨率。

口，連接到hiden的質(zhì)譜上可以自動、快速地繪制溫度和

離子槍的設(shè)計，可以提供納米級的深度分辨率和近表面分析。

氣體分布譜圖。

● 體積小巧

● 發(fā)動機催化反應(yīng)

● 10個樣品裝載

● 尾氣排放

● 深度剖析

● 燃料電池研究

● 僅需單相電源（<10A）

● 非熱平衡等離子體反應(yīng)

● 正二次離子質(zhì)譜和二次中性粒子譜

● 定量分析反應(yīng)器內(nèi)的瞬態(tài)和分布

● 移動車的設(shè)計

● 高時間分辨和小的擾動

● 3D表征和成像

● 空間分辨：0.1mm

● 質(zhì)譜圖

● 軸向驅(qū)動：0～300mm

● 同位素分析