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測量顯微鏡是光學計量儀器之一種,是指配有瞄準顯微鏡和坐標工作臺的用于二維坐標尺寸測量的光學計量儀器。測量顯微鏡采用透、反射的方式對工件長度和角度作精密測量。特別適用于錄象磁頭、大規模集成電路線寬以及其
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